濕度傳感器檢測是基于其功能材料能發生與濕度有關的物理效應或化學反應的基礎上制造的。它具有可將濕度物理量轉換成電訊號的功能。這些功能可以通過與濕度有關的電阻或電容的變化、長度或體積的脹縮、以及結型器件或MOS器件的某些電參數的變化來得到實現。

　　濕度傳感器檢測根據其工作原理的不同可以分成以下幾種：

　　1.伸縮式，它利用脫脂毛發的線性尺寸隨環境水汽含量的變化而變化；

　　2.蒸發式，即干濕球濕度傳感器，它利用干球與濕球溫度計在相對濕度變化時兩者溫度差變化而制得。毛發濕度計和干濕球濕度計的主要缺點是靈敏度和分辨率都不夠高；

　　3.露點計，利用冷卻方法使氣體中的水汽達到飽和而結露，根據露點溫度來測量氣體中的相對濕度；

　　4.電子式，包括電阻式，電容式和電解式。電阻式濕度傳感器利用吸濕性能較好的物質吸附水汽后電阻率發生變化而制得，但由于電阻固有的溫度系數使其不能工作在很寬的溫度范圍內。電容式濕度傳感器利用感濕材料吸水后介電常數發生變化而改變電容值。它與電阻型濕度計相比有顯著的優勢：靈敏度高，功耗低，溫漂小。因此現在市面上出售的濕度計75%都是電容型的，電解質濕度傳感器也存在固有的缺點，如測量范圍窄，可重復性差，使用壽命短等缺點；

　　5，電磁式，它包括晶振式，二極管式，微波式和表面聲波式，其工作原理是利用某些物質吸附水汽后，晶振振蕩頻率，微波的傳播速度和二極管的整流特性等發生變化來測定相對濕度。